薄膜形成装置及薄膜形成装置之洗净方法

摘要

本发明提供一种可去除附着于装置内部之附着物，并使装置内部平坦化之薄膜形成装置之洗净方法及薄膜形成装置。本发明之热处理装置1之控制部100于装置内部附着有附着物时，则将反应管2内加热至特定之温度，并自处理气体导入管17供给洗净气体，去除附着物。继而，将反应管2内保持在室温，并自处理气体导入管17供给含氟化氢之气体。