定流量阀

摘要

定流量阀具有小室，在小室内，设有一具有阀构件之第一隔膜；第二隔膜；及第三隔膜。此等隔膜将小室区分成第一加压室、第二阀室、第一阀室及第二加压室。第一加压室具有对于第二隔膜施加朝内之一定力之手段，而第二加压室则具有对于第三隔膜施加朝内之一定力之手段。第一阀室系通至进口流路，第二阀室具有对应于阀构件之阀座，而藉阀座来分成下部阀室及上部阀室。其中，下部阀室系透过设在第一隔膜之连通孔而与下部阀室连通，而上部阀室系连通于出口流路。