| 摘要 |
一种有机EL面板的制造方法。在支撑基板1上形成由下部电极和上部电极夹持含有有机发光层的有机材料层而构成的有机EL元件，并且形成从所述下部电极和所述上部电极延伸出的配线电极，在形成所述配线电极的导电膜层(10A、10B)上，在对应藉由去除曝光部分而形成的抗蚀膜(11)的图案来形成配线图案部时，使用具有对应配线图案部的遮光部(20A)的光罩(20)对抗蚀膜(11)进行第1曝光，然后对至少对应有机EL元件的发光部的抗蚀膜(11)的去除对象部分进行第2曝光。由此，可预防因抗蚀膜的残留所造成的泄漏等不良。 |
