| 摘要 |
一种基板处理装置，可在一片未卷起之长条膜片的轴心线是相对于处理台的X或Y轴呈倾斜状时，用以改良处理的精度，此装置具有一种钻设在导引基部(11)上的孔洞(22a–22d)是与设置在定位基部(12a、12b)上的四根销子(23a–23d)相啮合起来的结构；在孔洞(22a)与销子(23a)之间大致上没有间隙，而孔洞(22b–22d)则是松散地套合在销子(23b–23d)上；以及在工件W上钻设二个参考孔洞，其等的轴心线是在X轴的方向上，其中工件W是固定至由导引基部(11)加以支撑的夹持基部上，而在钻设在工件W上的参考孔洞之一定位至其在此设计中的参考位置上时，将定位基部(12a)移开，并使导引基部(11)绕着销子(23a)转动，而工件W的轴心线即可位在与X轴垂直处。 |
