| 摘要 |
本发明揭示一种固态影像装置1，其具有一背发光型结构，其中一透镜7系形成于一矽层2之背侧上，而一光接收感测器部分PD系形成该矽层上，并且绝缘层13、14系埋入一影像拾取区域20周围的该矽层2中，该绝缘层14系掩埋在一接触层12周围，该接触层连接一垫部分之一电极层15与表面侧之一互连层11。此外，当制造具有该背发光型结构之该固态影像装置时，各沟渠系分别形成在该影像拾取区域20以及该垫部分之该矽层2周围；该等绝缘层13、14系埋入该等个别沟渠中；该光接收感测器部分PD系形成于该矽层2上；互连层3、11系形成于该矽层2之该表面侧上；导电材料12系埋入已埋入该垫部分之该沟渠中的该绝缘层13中，并与该垫部分之该互连层11连接；而藉由将埋入该影像拾取区域20周围之该沟渠中的该绝缘层13用作一对准标记，将该透镜7形成于该矽层2之该背侧上。藉由于该背发光型固态影像装置上形成用以对准该光接收感测器部分之光二极体与该透镜的对准标记以及垫式接触，此固态影像装置可以实现该背发光型固态影像装置，并且可以提供制造此类固态影像装置之一方法。 |
