圆极化微波椭圆球电浆源构造及其电浆产生方法

摘要

一种圆极化微波椭圆球电浆源构造及其电浆产生方法，系有关于一种电浆源装置具有微波产生均匀电浆能力，能以高功率电磁波共振发射，藉由椭圆球体之光学反射面聚焦于一处以游离反应用气体，及可配合圆极化电磁波之功效，提供于具均匀高密度电浆需求之应用场所，其较昔知之电浆源相比所生之电浆品质良好，且可取代传统电浆源；其包含：本体，系中空椭圆壳形，内表面设有光学反射面；微波源，系设于该本体之椭圆内部之第一焦点；及电浆生成装置，系设于该本体之椭圆内部之第二焦点。