供用于平版印刷方法中放大及扭曲校正之系统

摘要

本发明系有关于一种改变一样板之尺寸以减缓，若非避免，由该样板形成之下方图案中的扭曲现象之系统。为达此一目的，该系统包括一压缩装置，该压缩装置含有一对隔离的接触元件以将该样板之一周边表面压缩于该对隔离的接触元件之间。该压缩装置包括第一及第二主体，各该主体具有一接触元件及一致动手臂。该致动手臂中之一者被耦合至该第一主体以根据一设置于该致动手臂附近之囊状物的容积变化沿一轴做往复运动。以此方式，该两接触元件之间的距离可以改变。