小间隙电浆电极定位及晶圆传输方法及其装置

摘要

本发明为一种小间隙电浆电极定位及晶圆传输方法及其装置，其系藉由下电极升降而顶杆不动之方式进行，在进行制程前，先由机械手臂将晶圆置入顶杆上，而后使下电极上升顶起晶圆，并于下电极上设计三根定位销于上升时与上电极接触，利用三点决定一平面之原理确保上、下电极之平行度，制程完毕时则使下电极下降，使晶圆再次置于顶杆上，并由机械手臂将晶圆取出。