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发明名称
用于微机电系统之阻障层
摘要
于此揭示一种处理微机电装置的方法。该方法藉由在连续牺牲层与结构层间提供选定阻障层,而防止于微机电装置之牺牲层与结构层间之扩散与相互作用。
申请公布号
TW200522132
申请公布日期
2005.07.01
申请号
TW093108431
申请日期
2004.03.26
申请人
雷弗莱提维提公司
发明人
帕戴尔沙帝爱德福R PATEL, SATYADEV R.;达恩强纳森
分类号
H01L21/00;B81C1/00
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
蔡坤财
主权项
地址
美国
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