放射线感应性组成物用低气泡显像液

摘要

本发明系有关含有化学式1之非离子性界面活性剂、化学式2之非离子性界面活性剂、化学式3之非离子性界面活性剂、硷性化合物以及水之放射线感应性组成物用低气泡显像液。本发明之放射线感应性组成物用低气泡显像液对彩色滤膜光阻蚀剂、Black Matrix、PhotoSpacer等的感放射线性成份都同时表现出良好的显像性与电路再现性，并具有低气泡性能去除喷雾等工程产生之气泡所引发的显像问题，低气泡且显像力优。093141056-p01.bmp