研磨组成物及研磨方法

摘要

本发明系提供一种研磨组成物，可以抑制浸蚀、冲蚀，特别是在维持金属膜的平坦性之同时，可以高速度研磨，其特征为含有：(A)分子中含有3个以上唑基之化合物；(B)氧化剂；以及(C)1种或2种以上选自于胺基酸、有机酸、无机酸者。