化学机械研磨液组合物及金属膜的研磨方法

摘要

一种化学机械研磨液组合物，至少是由添加剂、安定剂与研磨料所构成。添加剂为二价金属化合物或三价金属化合物。安定剂为有机酸、无机酸或其混合物。此种化学机械研磨液组合物可以高速研磨钨、钛及氮化钛。