用于彩色光阻平坦化之研磨液

摘要

本发明系关于一种用于研磨彩色光阻之化学机械研磨浆液，其包含复合研磨粒及水性介质。本发明研磨浆液，可有效地磨除彩色滤光片(Color Filter)制程中彩色光阻乾燥后所产生的牛角状突起物，且不易有研磨液残留现象发生。