基板搬送系统

摘要

目的为提供一种可缩小的系统规模的基板搬送系统。移载装置903，是在主搬送路901、及副搬送路902或是副搬送路902b之间将基板或调制盘移载的同时，将基板或是调制盘或是基板收容卡匣贮藏用的装置。如此藉由将基板S1枚1枚地保管，或藉由将基板收容卡匣一个一个地保管，就可调整副搬送路及主搬送路所搬送的基板或调制盘或是基板收容卡匣的数量，可作为处理负荷变大的情况的缓冲器功能。