| 摘要 |
本发明是关于将液晶显示面板、玻璃基板等的薄板状基板搬送至处理装置内的搬送装置，提供一种：针对具备具有搬送大型的薄板状基板的转动臂(16)之较大型的机器人(14)的搬送装置，即使为2m左右的高度，亦可稳定地举起，且能够进行补正了将转动臂(16)伸长时的挠曲量之搬送的搬送装置及薄板状基板搬送系统。其结构为设置可升降地悬臂支承于2个直立支承体(12)之水平支承台部(13)，在水平支承台部(13)载置具有转动臂(16)的搬送机器人(14)。又，伸长臂时的挠曲量是藉由因应挠曲量提升水平支承台部(13)的高度来进行补正。挠曲量亦可藉由使载置于水平支承台部(13)的机器人(14)之设置角度变化来进行补正。 |
