| 摘要 |
奈米碳管系使用电浆化学沈积法在基材上形成。等奈米管长成以后，在新形成的奈米管结构上进行纯化步骤。该纯化作用由已长成的奈米管壁移除石墨及其他碳粒并控制奈米管层的厚度。在相同的基材温度时以电浆进行纯化。针对该纯化作用，以充当添加物加至用于电浆化学沈积的来源气体之含氢气的气体作为电浆来源气体。因为用于纯化电浆的来源气体系充当添加物加至用于化学电浆沈积的来源气体，所以藉着与持续存在于电浆加工室中的连续电浆反应而纯化长成的奈米碳管。这可排除对于洗净及抽空电浆加工室，以及利用纯化电浆来源气体使压力安定化的需求。因此，可进行生长和纯化而不需关闭电浆加工室内的电浆。 |
