原处基材温度监测之方法与设备

摘要

于一电浆处理系统中，一种决定基材温度的方法被揭示。该方法包含将该基材定位在一基材支撑结构上，其中基材支撑结构包含一夹头。该方法更包含建立用于基材之温度校正曲线，该温度校正曲线系为以电磁量测装置所量测之至少一第一基材温度；及在一第一等温状态下，以一物理量测装置量测第一夹头温度。