含叠氮基之新颖性肉桂醛化合物

摘要

本发明提供一种新颖性叠氮基肉桂醛化合物，当其使用作为提供一光阻之感光部分的中间物时，会产生具有高灵敏度且可在曝光部分与未曝光部分之间获得高对比之感光部分，且化合物本身可用作为感光部分；该叠氮基肉桂醛化合物如下式(I)所示：其中，R表示低碳烷基，而Y表示氢或是磺酸盐基。

主权项

1.一种含叠氮基之肉桂醛化合物,系由式(Ⅰ)所示: 其中,R表示低碳烷基,以及Y表示氢或磺酸盐基。 2.如申请专利范围第1项之含叠氮基之肉桂醛化合 物,其中,R为甲基或是乙基。 3.如申请专利范围第1或2项之含叠氮基之肉桂醛化 合物,其中,Y为磺酸盐基。