发明名称 FABRICATION METHOD OF POLYCRYSTALLINE SILICON USING LASER ANNEALING METHOD
摘要
申请公布号 KR100498635(B1) 申请公布日期 2005.07.01
申请号 KR20030023763 申请日期 2003.04.15
申请人 发明人
分类号 H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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