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发明名称
摘要
申请公布号
KR100474441(B1)
申请公布日期
2005.07.01
申请号
KR19970038622
申请日期
1997.08.13
申请人
发明人
分类号
H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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