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发明名称 PLASMA PROCESSING APPARATUS HAVING PERMEABLE WINDOW COVERED WITH LIGHT SHIELDING FILM
摘要
申请公布号 KR100498742(B1) 申请公布日期 2005.07.01
申请号 KR20010044240 申请日期 2001.07.23
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065;H01J37/32;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
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