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经营范围
发明名称
CLEANING METHOD OF CONTACT HOLE OPENED OVER NOBLE METAL
摘要
申请公布号
KR100498606(B1)
申请公布日期
2005.07.01
申请号
KR20030049205
申请日期
2003.07.18
申请人
发明人
分类号
H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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