发明名称 PHOTORESIST OVERCOATING POLYMER, ITS PREPARATION METHOD AND PHOTORESIST OVERCOATING COMPOSITION COMPRISING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20050067242(A) 申请公布日期 2005.07.01
申请号 KR20030098077 申请日期 2003.12.27
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 JUNG, JAE CHANG;HWANG, YOUNG SUN
分类号 G03F7/11;(IPC1-7):G03F7/11 主分类号 G03F7/11
代理机构 代理人
主权项
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