| 发明名称 |
SYSTEM AND METHOD FOR INTERLOCKING SEMICONDUCTOR PROCESS EQUIPMENT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR20050066703(A) |
申请公布日期 |
2005.06.30 |
| 申请号 |
KR20030098045 |
申请日期 |
2003.12.27 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. |
发明人 |
SON, BOO MOK |
| 分类号 |
H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
