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发明名称 EXHAUST SYSTEM OF FURNACE
摘要
申请公布号 KR20050065739(A) 申请公布日期 2005.06.30
申请号 KR20030095849 申请日期 2003.12.23
申请人 DONGBUANAM SEMICONDUCTOR INC. 发明人 MIN, DAE HONG;KIM, TAE HWAN
分类号 H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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