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发明名称 SURFACE PLANARIZATION METHOD OF SEQUENTIAL LATERAL SOLIDIFICATION CRYSTALLIZED POLY-SILICON THIN FILM
摘要
申请公布号 KR20050066057(A) 申请公布日期 2005.06.30
申请号 KR20030097258 申请日期 2003.12.26
申请人 ELECTRONICS AND TELECOMMUNICATIONS RESEARCH INSTITUTE 发明人 SOHN, CHOONG YONG;KIM, YONG HAE;LEE, JIN HO;KO, YOUNG WOOK;CHUNG, CHOONG HEUI;HWANG, CHI SUN;SONG, YOON HO
分类号 C30B1/00;H01L21/20;H01L21/26;H01L21/268;H01L21/324;H01L21/36;H01L21/42;H01L21/477;(IPC1-7):H01L21/268 主分类号 C30B1/00
代理机构 代理人
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