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经营范围
发明名称
APPARATUS FOR REMOVING A BOAT OF A VERTICAL FURNACE
摘要
申请公布号
KR20050065854(A)
申请公布日期
2005.06.30
申请号
KR20030096748
申请日期
2003.12.24
申请人
DONGBUANAM SEMICONDUCTOR INC.
发明人
MIN, DAE HONG;SEO, SEONG SOO
分类号
H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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