| 发明名称 |
Mikrostruktur mit flexibler Membran zur Druckmessung und Verfahren zu ihrer Herstellung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69824782(T2) |
申请公布日期 |
2005.06.30 |
| 申请号 |
DE19986024782T |
申请日期 |
1998.04.15 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE, PARIS |
发明人 |
DELAYE, MARIE-THERESE |
| 分类号 |
G01L9/12;G01L9/00;G06K9/00;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/00 |
主分类号 |
G01L9/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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