发明名称 METHOD FOR FABRICATING SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE AND STRUCTURE THEREFORE
摘要
申请公布号 KR20050065968(A) 申请公布日期 2005.06.30
申请号 KR20030097141 申请日期 2003.12.26
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 PARK, JE MIN;SHIN, DONG WON;HWANG, YOO SANG
分类号 H01L21/768;H01L21/8242;H01L27/06;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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