| 发明名称 |
Chuck with integrated wafer support |
| 摘要 |
An improved chuck with lift pins within a probe station.
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| 申请公布号 |
US2005140384(A1) |
申请公布日期 |
2005.06.30 |
| 申请号 |
US20040927247 |
申请日期 |
2004.08.26 |
| 申请人 |
ANDREWS PETER;FROEMKE BRAD;DUNKLEE JOHN |
发明人 |
ANDREWS PETER;FROEMKE BRAD;DUNKLEE JOHN |
| 分类号 |
G01R31/02;G01R31/26;G01R31/28;(IPC1-7):G01R31/02 |
主分类号 |
G01R31/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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