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发明名称 EXHAUST STRUCTURE OF DIFFUSION FURNACE TUBE CLEANING DEVICE
摘要
申请公布号 KR20050065808(A) 申请公布日期 2005.06.30
申请号 KR20030096699 申请日期 2003.12.24
申请人 DONGBUANAM SEMICONDUCTOR INC. 发明人 SEO, SEONG SOO;MIN, DAE HONG
分类号 H01L21/22;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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