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发明名称
摘要
申请公布号 JP2005519187(A) 申请公布日期 2005.06.30
申请号 JP20030568121 申请日期 2003.01.21
申请人 发明人
分类号 H05B33/10;C23C14/04;C23C14/24;C23C14/56;G03F7/12;H01L21/336;H01L21/363;H01L29/786;H01L33/00;H01L51/05;H01L51/50;(IPC1-7):C23C14/04;H01L51/00;H05B33/14 主分类号 H05B33/10
代理机构 代理人
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