| 发明名称 |
Ätzung von Nitridkristallen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69631100(T4) |
申请公布日期 |
2005.06.30 |
| 申请号 |
DE1996631100T |
申请日期 |
1996.07.25 |
| 申请人 |
LUMILEDS LIGHTING, U.S. |
发明人 |
KANEKO, YAWARA;YAMADA, NORIHIDE |
| 分类号 |
C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01S5/00;H01S5/323;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/20 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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