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发明名称 METHOD FOR FABRICATING THE TRENCH FOR SHALLOW TRENCH ISOLATION IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20050065743(A) 申请公布日期 2005.06.30
申请号 KR20030095853 申请日期 2003.12.23
申请人 DONGBUANAM SEMICONDUCTOR INC. 发明人 BAEK, SEUNG WON;KIM, HYUNG WON
分类号 H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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