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VERFAHREN ZUM PRÄZISEN GIESSEN UND AUSRICHTEN VON STRUKTUREN AUF EINEM SUBSTRAT UNTER VERWENDUNG EINER DEHNBAREN GIESSFORM
摘要
申请公布号
DE69925512(D1)
申请公布日期
2005.06.30
申请号
DE19996025512
申请日期
1999.03.31
申请人
MINNESOTA MINING AND MFG. CO., SAINT PAUL
发明人
CHIU, C.;HOOPMAN, L.;HUMPAL, E.;KING, W.;DILLON, R.
分类号
H01J9/02;B29C33/30;B29C33/40;B29C33/42;H01J9/24;H01J11/02;H01L21/027;(IPC1-7):H01J9/24
主分类号
H01J9/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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