单片式压电铁电晶体多功能露点湿度传感器

摘要

本发明公开一种单片式压电铁电晶体多功能露点湿度传感器，其组成包括有：柯伐管壳1和柯伐管座8组合成的传感器外壳体、安装于传感器壳内的压电(铁电)晶体敏感元件6、外接单片机控制的半导体致冷(热)器7和柯伐管座8上的外接管脚等，是一种精密、快响应的多功能(露点、湿度、温度、霜点)单片式压电(铁电)晶体传感器综合地利用瑞利表面波敏感、结露、结霜，使用深体声波或浅体声波，以及端面反射式压电表面变波泛音谐振器敏感、结霜和结露湿度，采用体波的弯曲振动模式或扭曲振动模式，音叉谐振器敏感周围环境温度。利用半导体致冷器和单片计算机软、硬件实现致冷(加热)反馈控制、敏感特性的补偿及信号调理和转换。利用单片式的紧凑结构解决了温度传感器检测点与结露(结霜)点存在温度梯度问题，利用瑞利表面波的振幅、频率、相位三者对结露冷凝水敏感性差异和单片机软件功能，提高了传感器的灵敏度、分辨率、动态范围和对污染状态的识别问题。利用软件补偿和自诊功能以及某些硬件，如多孔聚四氟乙烯过程保护膜、天水乙醇高压喷射咀、正压反吹清洗喷咀的配合进行定期清洗等提高传感器的可靠性和长期稳定性。

主权项

1.一种单片式压电晶体多功能露点湿度传感器，其组成包括有：柯伐管壳(1)和柯伐管座(8)组合成的传感器外壳体、安装于传感器壳内的压电(铁电)晶体敏感元件(6)、外接单片机控制的半导体致冷(热)器(7)和柯伐管座(8)上的外接管脚，其特征在于：所述的压电(铁电)晶体敏感元件(6)是瑞利波模式湿敏元件(26)和是浅体声波或深体声波模式的晶体温度敏感元件(27)同一晶片，安装于与管壳成一体的敏感元件环状固定支架(21)，位于瑞利波模式湿敏元件的零温度系数顶点温度调整器(28)的后面，半导体致冷(热)器(7)紧贴压电(铁电)晶体敏感元件(6)下表面，半导体致冷(热)器(7)下方装有与外接头(19)连结的散热水管的(17)，压电(铁电)晶体敏感元件(6)的上方的柯伐管壳(1)上是装有过滤膜(2)的通气窗口，与一个连接吸气泵的负压抽吸和正压反吹清洗喷嘴(22)形成受感气流的气路。