| 发明名称 | 含晶体结构的碳氮薄膜的制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种含晶体结构的碳氮薄膜的制备方法。以含有尿素的甲醇溶液作为电解液，石墨作为阳极，单晶硅片作为阴极，通过直流高电压作用在阴极上沉积出碳氮薄膜。其特点是：实验设备简单，制备过程简便，仅利用在甲醇中掺杂一定量尿素的方法电化学沉积碳氮薄膜。该薄膜有望在微型机械、硬盘保护和平板显示器等领域使用。 | ||
| 申请公布号 | CN1632177A | 申请公布日期 | 2005.06.29 |
| 申请号 | CN200310121059.8 | 申请日期 | 2003.12.24 |
| 申请人 | 中国科学院兰州化学物理研究所 | 发明人 | 杨生荣;徐洮;阎兴斌;陈刚 |
| 分类号 | C25D9/08 | 主分类号 | C25D9/08 |
| 代理机构 | 兰州中科华西专利代理有限公司 | 代理人 | 方晓佳 |
| 主权项 | 1、一种含晶体结构的碳氮薄膜的制备方法，其特征在于主要包括以下步骤：(1)配制摩尔比在1∶100～1∶1000范围内尿素的甲醇溶液；(2)将配制好的溶液置于电解反应器中，调节电解液的温度在30～60℃；(3)将单晶硅片夹在石墨片上作阴极，石墨作阳极；采用直流高电压500～1500V作用，沉积时间为2～10小时。 | ||
| 地址 | 730000甘肃省兰州市城关区天水路342号 | ||