离子源蒸发器

摘要

一种离子源蒸发器，包括：一个中空蒸发器主体，一个加热器和一个喷嘴。中空蒸发器主体具有一个开口部。加热器安装在所述中空蒸发器主体的外侧，它使中空蒸发器主体中的固体样品蒸发。喷嘴将中空蒸发器主体中产生的蒸汽送到一个弧腔中。该离子源蒸发器还包括一个用于充装固体样品的坩埚和一个压缩单元，该坩埚设置在中空蒸发器主体的空腔中，压缩单元用于将坩埚底压向中空蒸发器的主体的空腔底。将所述喷嘴的一端旋拧到坩埚的上部。

主权项

1.一种离子源蒸发器，包括：具有一个开口端的中空蒸发器主体，在其中限定一坩埚容放腔；一个充装待蒸发的固体样品的坩埚；一个使固体样品蒸发的加热器；一个喷嘴，用于将蒸汽从使用中的所述坩埚送到一个与使用中的所述蒸发器相连的弧腔中，所述喷嘴与所述坩埚在一端螺纹接合，以在接合处形成热连接；以及一个压缩单元，作用在所述中空蒸发器主体和所述坩埚之间，以将与所述喷嘴远离的坩埚端部区域压向与所述中空蒸发器主体的空腔底接合，实现热接触。