发明名称 METHOD FOR TREATMENT OF NI CONTAINING SOLUTION FROM RECYCLING PROCESS OF FECL3 ETCHING SOLUTION
摘要
申请公布号 KR20050064142(A) 申请公布日期 2005.06.29
申请号 KR20030095434 申请日期 2003.12.23
申请人 RESEARCH INSTITUTE OF INDUSTRIAL SCIENCE & TECHNOLOGY 发明人 LEE, JAE YOUNG;LEE, HOON HA
分类号 C23F1/46;(IPC1-7):C23F1/46 主分类号 C23F1/46
代理机构 代理人
主权项
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