发明名称 | 高复现性通用光学波片检测仪 | ||
摘要 | 一种高复现性通用光学波片检测仪,其特征在于包括沿着光束前进方向上依次置有白光光源,分光器,嵌入式测量台和光电探测器。系统还包括A/D转换器,计算机和控制器。白光光源的出射光入射到分光器得到单色光束,然后该光束入射到嵌入式测量台,最后被光电探测器接收,经过A/D转换器输入到计算机。经计算机处理后得到波片参数。嵌入式样品台用于对经过分光器后的单色入射光起偏,放置待测样品,和对出射光检偏的作用。本发明具有测量精度高,可重复性好,通用性强(可测量任何波片),操作简便的特点。 | ||
申请公布号 | CN1632501A | 申请公布日期 | 2005.06.29 |
申请号 | CN200510023208.6 | 申请日期 | 2005.01.10 |
申请人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明人 | 周飞;徐文东;干福熹 |
分类号 | G01M11/02;G01B11/00 | 主分类号 | G01M11/02 |
代理机构 | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人 | 张泽纯 |
主权项 | 1、一种高复现性通用光学波片检测仪,其特征在于构成为:沿着光束前进方向上依次置有白光光源(1)、分光器(2)、嵌入式测量台(3)和光电探测器(4),系统还包括A/D转换器(5)、计算机(6)和控制器(7),该白光光源(1)的出射光入射到分光器(2)得到单色光束,然后该单色光束入射到嵌入式测量台(3),最后被光电探测器(4)接收,经过A/D转换器(5)输入到计算机(6),经计算机(6)处理后得到波片参数,嵌入式测量台(3)对经过分光器(2)后的单色入射光起偏,放置待测样品和对出射光检偏的作用。 | ||
地址 | 201800上海市800-211邮政信箱 |