发明名称 高复现性通用光学波片检测仪
摘要 一种高复现性通用光学波片检测仪,其特征在于包括沿着光束前进方向上依次置有白光光源,分光器,嵌入式测量台和光电探测器。系统还包括A/D转换器,计算机和控制器。白光光源的出射光入射到分光器得到单色光束,然后该光束入射到嵌入式测量台,最后被光电探测器接收,经过A/D转换器输入到计算机。经计算机处理后得到波片参数。嵌入式样品台用于对经过分光器后的单色入射光起偏,放置待测样品,和对出射光检偏的作用。本发明具有测量精度高,可重复性好,通用性强(可测量任何波片),操作简便的特点。
申请公布号 CN1632501A 申请公布日期 2005.06.29
申请号 CN200510023208.6 申请日期 2005.01.10
申请人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明人 周飞;徐文东;干福熹
分类号 G01M11/02;G01B11/00 主分类号 G01M11/02
代理机构 上海新天专利代理有限公司 代理人 张泽纯
主权项 1、一种高复现性通用光学波片检测仪,其特征在于构成为:沿着光束前进方向上依次置有白光光源(1)、分光器(2)、嵌入式测量台(3)和光电探测器(4),系统还包括A/D转换器(5)、计算机(6)和控制器(7),该白光光源(1)的出射光入射到分光器(2)得到单色光束,然后该单色光束入射到嵌入式测量台(3),最后被光电探测器(4)接收,经过A/D转换器(5)输入到计算机(6),经计算机(6)处理后得到波片参数,嵌入式测量台(3)对经过分光器(2)后的单色入射光起偏,放置待测样品和对出射光检偏的作用。
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