多壁碳纳米管薄膜气敏传感器

摘要

一种多壁碳纳米管薄膜气敏传感器，其特征在于：底板1为铝板，绝缘层2是三氧化二铝层，电极3是叉指金电极，气敏层4是多壁碳纳米管薄膜。同现有技术比较，本发明具有如下突出优点：1)以多壁碳纳米管薄膜为气敏层的气敏传感器，苯系气体对气敏层的响应特性特别优异，具有灵敏度高、稳定性好，恢复性强的优点；2)传感器中的三氧化二铝层和多壁碳纳米管相容性好；3)己硫醇膜带有活泼的巯基，既可与金电极结合，形成金硫键，加速电子传递，又可活化多壁碳纳米管对苯系气体的吸附性；4)能在室温下工作，无须配置加热器，无安全隐患，有利于实现电导型气敏传感器的微型化、集成化；5)制造工艺简单，生产成本低。本传感器特别适用于对苯系气体的检测。

主权项

1.一种多壁碳纳米管薄膜气敏传感器，包括底板，绝缘层，电极，气敏层，其特征在于：绝缘层(2)是作为底板(1)的铝板表面经过阳极氧化处理后形成的三氧化二铝层，电极(3)是采用真空溅射法在绝缘层(2)上制成的叉指金电极，气敏层(4)是将金电极在含己硫醇的无水乙醇溶液中浸泡24～26小时，在金电极上形成的己硫醇膜后，在己硫醇膜上旋涂含有多壁碳纳米管的均匀悬浊液，干燥后形成具有巯基修饰的多壁碳纳米管薄膜。