液体喷射头、液体喷射装置及制造液体喷射头的方法

摘要

本发明公开一种制造液体喷射头的方法，包括形成保护层的步骤，该保护层用于防止加热元件被干刻，该干刻在形成布线图案时于加热元件的用于容纳例如墨水的液体的液体室的侧表面上进行，由此，即使布线图案是由具有增强的抗电迁移性的布线材料形成的，也可以保证令人满意的可靠性。

主权项

1.一种液体喷射头，该液体喷射头通过激活相应的加热元件来产生热，以便加热相应的液体室中的液体，从而从理想的喷嘴排出液滴，该加热元件设置在半导体衬底的上方，并在该加热元件和该半导体衬底之间具有布线图案，其中用于防止加热元件受到用于形成所述布线图案的干刻的保护层被设置在加热元件靠近所述液体室的一侧上。