发明名称 MANUFACTURING METHOD FOR PHOTO MASK
摘要
申请公布号 KR20050065156(A) 申请公布日期 2005.06.29
申请号 KR20030096924 申请日期 2003.12.24
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 JEONG, KU CHEOL
分类号 G03F1/80;G03F7/26;(IPC1-7):G03F1/08 主分类号 G03F1/80
代理机构 代理人
主权项
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