热剥离薄膜图案化加工方法

摘要

本发明属于热剥离图案化加工方法。采用转移微模塑的方法预固化形成环氧树脂模板；将需要图案化的介质在平面基底上成膜；将预固化的环氧树脂模板由上向下压在需要图案化的薄膜表面，并保持0.1～0.5MPa的压力，然后在80～120℃条件下加深固化5～15分钟，最后，将环氧树脂模板剥离，与环氧树脂表面突起部分图形相同的薄膜随环氧树脂模板剥落，从而在薄膜上形成图形。本发明的方法具有加工设备及工艺简单、形成图案精度高、加工成本低、效率高等特点。

主权项

1.一种热剥离薄膜图案化加工方法，采用转移微模塑的方法预固化形成环氧树脂模板，其特征在于，在平面基底上加工一层需要图案化的有机薄膜或金属薄膜，将表面具有图形的环氧树脂模板压在需要图案化的薄膜表面，加上0.1～0.5MPa的压力，并在80～120℃温度条件下保持5～15分钟，然后将环氧树脂模板剥离，得到图案化的有机薄膜或金属薄膜。