发明名称 METHOD FOR FORMING POLYSILICON PLUG OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20050064591(A) 申请公布日期 2005.06.29
申请号 KR20030096072 申请日期 2003.12.24
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 PARK, HYUNG SOON;LEE, MIN SUK;LEE, SANG ICK;SOHN, HYUN CHUL
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/336;H01L21/44;H01L21/4763;H01L21/60;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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