发明名称 A METHOD FOR MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE USING DUAL-DAMASCENE PATTERN
摘要
申请公布号 KR20050065227(A) 申请公布日期 2005.06.29
申请号 KR20030096997 申请日期 2003.12.24
申请人 DONGBUANAM SEMICONDUCTOR INC. 发明人 PARK, JEONG HO
分类号 H01L21/3205;H01L21/44;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
地址