发明名称 METHOD OF PREPARING A SUBSTRATE, METHOD OF MEASURING, DEVICE MANUFACTURING METHOD, LITHOGRAPHIC APPARATUS, COMPUTER PROGRAM AND SUBSTRATE
摘要
申请公布号 SG112071(A1) 申请公布日期 2005.06.29
申请号 SG20040006966 申请日期 2004.11.30
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 TEN BERGE, PETER;KEIJSERS, GERARDUS JOHANNES JOSEPH
分类号 G03F9/00;H01L21/02;H01L21/027;H01L21/68 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
主权项
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