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发明名称 ETCHING SOLUTION COMPOSITION FOR METAL FILMS
摘要
申请公布号 SG112086(A1) 申请公布日期 2005.06.29
申请号 SG20040007134 申请日期 2004.12.01
申请人 KANTO KAGAKU KABUSHIKI KAISHA;SANYO ELECTRIC CO., LTD.;NIIGATA SANYO ELECTRONIC CO., LTD. 发明人 KAZUHIRO FUJIKAWA;TSUGUHIRO TAGO
分类号 C09K13/06;C09K13/08;C23F1/16;C23F1/20;H01L21/302;H01L21/308;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L21/461 主分类号 C09K13/06
代理机构 代理人
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