| 发明名称 |
Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelementes und nach diesem Verfahren hergestelltes Halbleiterbauelement |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE1150153(B) |
申请公布日期 |
1963.06.12 |
| 申请号 |
DE1962J021236 |
申请日期 |
1962.02.01 |
| 申请人 |
IBM DEUTSCHLAND INTERNATIONALE BUERO-MASCHINEN GESELLSCHAFT M.B.H. |
发明人 |
MICHELITSCH DR. MICHAEL |
| 分类号 |
H01L21/00;H01L21/18;H01L21/24;H01L21/306;H01L29/00;H01L29/02;H01L29/06;H01L29/68;H01L29/73;H01L29/88 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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