发明名称 | 含纳米金颗粒的类金刚石碳薄膜的制备方法 | ||
摘要 | 本发明公开了一种含纳米金颗粒的类金刚石碳薄膜的制备方法。该方法配制含有聚碳苯-氯金酸的四氢呋喃先驱体溶液,然后通过旋涂的方法将混合溶液涂附于单晶硅表面,待有机溶剂挥发后,硅表面就形成了氯金酸-聚碳苯薄膜;将涂有薄膜的硅片在氩气保护下在500-700℃温度处理1~2小时,然后自然降至室温,得到含金纳米颗粒的类金刚石碳薄膜。本发明的特点是制备过程简便,一步合成含金属纳米颗粒的类金刚石复合薄膜。该薄膜有望在机械摩擦、电化学电极、金属催化、光学等领域使用。 | ||
申请公布号 | CN1632167A | 申请公布日期 | 2005.06.29 |
申请号 | CN200310121062.X | 申请日期 | 2003.12.24 |
申请人 | 中国科学院兰州化学物理研究所 | 发明人 | 杨生荣;徐洮;阎兴斌 |
分类号 | C23C18/12 | 主分类号 | C23C18/12 |
代理机构 | 兰州中科华西专利代理有限公司 | 代理人 | 方晓佳 |
主权项 | 1、一种含纳米金颗粒的类金刚石碳薄膜的制备方法,其特征在于该方法配制含有聚碳苯-氯金酸的四氢呋喃先驱体溶液,其中聚碳苯的摩尔浓度为0.01-0.1mol/L,氯金酸为摩尔浓度为0.002-0.02mol/L,然后通过旋涂的方法将混合溶液涂附于单晶硅表面,待有机溶剂挥发后,硅表面就形成了氯金酸-聚碳苯薄膜;将涂有薄膜的硅片在氩气保护下在500-700℃温度处理1~2小时,然后自然降至室温,得到含金纳米颗粒的类金刚石碳薄膜。 | ||
地址 | 730000甘肃省兰州市城关区天水路342号 |